Toto je druh destilácie v prostredí vysokého vákua, na rozdiel od voľnej dráhy pohybu molekúl materiálu, sa uskutočnil v procese destilácie a čistenia materiálu citlivého na teplo alebo materiálu s vysokou teplotou varu. Destilácia s krátkou cestou sa používa hlavne v chemickom, farmaceutickom, petrochemický priemysel, koreniny, plasty, ropa a iné oblasti.